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超越 50 年前史棒球的半导体资料巨子 Entegris 近期有两桩大事,会聚职业界的高度重视,其一是 2019 年 1 月底宣告与电子资料供货商 Versum Materials 兼并,但随即遇到德国默克(Merck)高价抢亲,其二是与竞赛对黄段子手之间的Reticle SMIF Pod 光罩传送盒专利侵权官司取胜,而该起官司将影响光刻机大厂 ASML 的要害 EUV 晶圆传输盒的竞赛地图。

Entegris 是特别化学品和先进资料处理方案供货商,首要事务可分为三大块:特别资料化学品、资料净化和污染操控、 material handling天门(晶圆传输盒事务等)。

在晶圆厂的制程处理中,Entegris 供应的效劳有液体过滤、流体处理、气体纯化、特别气体供应、高端清洁溶液、特别资料等,包含空气过滤器、用水滤心、化学机械研磨 ( CMP ) 过滤器、奈米熔喷 ( Nano Melt blown ) 滤芯等,再调配厂房内或是跨厂之间的晶圆运送、进阶物质处理事务,相较于分工精细的半导体供应链,Entegris 可供应高度整合性的效劳,全球首要客户包含台积电、三星电子(Samsung Electronics)等。

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(来历:Entegris)

牵手 Versum 发动本年资料界首桩兼并案,却遇到默克抢亲

Entegris 自本年开春以来,有两桩极度吸睛的新闻。首先是 2019 年 1 月底与 Versum Materials 的兼并案,兼并后 Entegris 占五席董事、Versum 占四席董事,Versum 首要事务是出产半导体的化学、气体及运送体系,两家公司的前三大客户均为台积电、英特尔、三星电子。

不过,Enteg猪肉炖粉条ris 和 Versum 兼并的消牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表息揭穿后,又传出德国默克 Merck 出手高价抢亲,向 Versum 提出 59 亿美元的现金收买要约,看起来 Versum 是倾向于与 Entegris 进行兼并,但默克关于 Versum 股东提出的高价引诱,也让半导体资料商场的热度大幅升高。

第二桩吸睛事情,是 Entegris 在晶圆盒传输事务上,与首要竞赛对手台湾的家登精细之间长达数年的专利侵权诉讼,日前获判胜诉,家登有必要补偿 Entegris 超越 3,000 万美元。

这刘芊含桩看似单纯的Reticle SMIF Pod 光罩传送盒专利诉讼事情,背面隐含 ASML 大厂 EUV 晶圆传输盒的商场动态和竞赛商机。跟着 EUV 技能开端导入半导体大厂 7 纳米工艺,现在全球仅 Entegris 和家登二两家供货商能够供应 ASML 有关 EUV 晶圆传输盒这样产品,这项专利侵权的断定,未来将触动该商场改变。

半导体技能微缩,新资料、资料纯度和污染操控扮演重要人物

在摩尔定律奉为圭臬的年代,所有人都齐力专心专心于晶体管尺度的缩小,如今的半导体大厂现已开端牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表量产 7 nm 工艺,接着要完成 5nm 工艺的量产。

但是,真实让芯片效能进步的要害,并非仅仅晶体管越做越小,也能够用 3D 制程替代 2D,或是导入新资料来进步功用,像是 1997 年 IBM 在半导体系程中以“铜”替代“铝”,如今的半导体也正千十九式迎候“钴”的上台,未来新资料将扮演更为重要人物。

除了制程微缩、新技能、新资料的面世,要进步芯片功用还有另一个法应收账款周转率门,便是极度严厉操控资料的纯度和制程的污染杂质。

举例而言,28nm 最小的粒子(partical)是 15nm,但到了 牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表7nm 工艺,最小 partical 要求是 3nm,且数量不能超越双位数,3nm 制程水的密度的 partical 不能超越 10 多个,简而卫士神圣不可侵犯言之,从 28nm 微缩至 7nm,制程工艺关于洁净度的要求添加 100 倍,不纯物的巨细要削减 4 倍的程度。

再者,从金属含量来看,28nm 的金属含量不能超越牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表 ppb(parts-per-billion),而 7nm 的要求是 ppq(parts-per-quadrillion),ppq 是 ppb 的百万分之一,能够看出半导刑天体系牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表程越往下微缩,对污染操控的严厉程度越高。

资料的纯度也是一个要害,除了既有资料纯化度的要求越来越高,因应 partical control 要求更豆角焖面为严厉,许多新资料、新化学配方、净化和过滤技能等都要不断进步,例如曾经都是用物理办法过滤,现在是采纳物理加上化学的办法。

半导体良率与净利严密相连,未来轿车电子要求更为苛刻

Entegris 商场战略副总裁杨文革表明,半导体系程纯度至关重要,纯度的操控或许进步器材功用、下降功耗、进步芯片良率和牢靠度。

那为什么良率的进步关于晶圆厂的营运是如此要害?依据核算,每进步 1% 良率,关于逻辑晶圆厂能够添加 1.5 亿美元的净利润,关于 3D NAND 晶圆厂则可添加 1.1 亿美元的净利润。

Entegris 成立于 1966 年,总部坐落美国马萨诸塞州比尔里卡,全球职工 4,100 名,2017 年营收为 13.4 亿美元,2018 年营收生长痛失考妣至 16 亿美元,其间逻辑制程相关事务占 67%、DRA牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表M 占 12% 、NAND 占 21%,现在在污染物操控、要害资料处理、先进制程资料等范畴都处于职业领导地位。

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图|Entegris 商场战略副总裁杨文革(来历:Entegris)

杨文革剖析,未来驱动半导体职业快速开展的两大应用是工业和轿车,在轿车半导体方面,无论是自动驾驭、电动车都需求许多半导体器材,回想 4 、 5 年前,一台轿车只需求几百颗芯片,现在高端轿车现已内在 5,000 颗芯片,估计 10 年后的全自动驾驭年代,一台轿车傍边的半导体元件约占本钱 50%。

当一台轿车的芯片比重巨幅攀升,问题也随之而侮辱尤娜来。轿车中的芯片数量大增,许多功用的进步需求经过芯片来决议和履行,因而,轿车的牢靠度也大幅依靠芯片,有必要迈特怀恩做到零失误,这点和核算机、手机不一样。有人会问飞机不也是内含许多的芯片?飞机的安全考测量也相同苛刻,许多要害体系都有备用,但关于本钱敏感度较低,而轿车不一样,毕竟是大众化产品,有必要把本钱和功用做一致性考量。

在轿车半导体中,为了保证芯片的质量,许多过往不会产生影响的半导体缺点(defect)、杂质、污染源11831200要采纳“先下手为强”的战略,许多埋伏的 defect 或许要经过反覆的高低温、屡次开关测验后,才会逐步显露出来,导致功用有异。

因而alex,彻底处理的办法是把很小,乃至是不影响功用,但会影响牢靠度的 defect 先行过滤到牛肉汤的做法,Entegris抢食车用芯片晶圆厂晋级工程,半导体资料界引爆并购大战,属相配对表,选用最高规范的办法履行和把红红火火关。

现在许多轿车芯片的晶圆厂都很老旧,像是许多运用的感测器,这类芯片其实不需求高端工艺。因而,轿车芯片的晶圆厂有个很大问题,便是老旧、 defect control 的标帝少的心尖宠准都处于 10 年、20 年前的水平,即便以严厉的规范来处理 defect 问题,也无法把问题全数找出来,因而,许多晶圆厂有必要快速履行 defect control 晋级工程。

依据世界半导体协会 SEMI 计算,2017 年到 2020 年将有 26 座新晶圆厂契税怎样算投产,其间将近一半为我国晶圆厂。世界市调组织 IC Insights 计算也指出,2019 年全球将有 9 座 12 寸晶圆厂发动,其间 5 座是国内晶圆厂。

为了把握国内半导体许多盖新厂的商机,Entegris 也活跃履行本地化战略,包含在上海树立首座技能中心,估计年中投入运用。

再者,绝大多数晶圆厂选用的高端气体、液体都是仰赖国外进口,傍边的电子气体是十分重要的一种电子资料,Entegris 为了履行本地化,也与福建博纯资料合建新工厂出产特别气体耗材。

经过与博纯的协作,Entegris 也成为全球首家在我国本地化出产特别气体产品的世界资料公司。当半导体进入高端制程,特别气体所需求的纯度,相当于 5,000 升的水中,不能有 1 滴水的杂质,且特别气体的浓度更牵涉到人命安全,因而,在特别气体上质量控管、收集办法、存储运送等,都要十分当心。